空气洁净度等级标准及规范:
经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准,都规定了有关的洁净度等级,例如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》(GBJ73-84),1996年该规范进行了较大的修改,无尘室设计,1990年颁布《洁净室施工及验收规范》(JGJ71-90)以指导施工和验收的重要文件。该规范在重新修订中。
净化工程中空气净化处理方案:
净化空气调节系统如需电加热时,应选用管状电加热器,位置应布置在高1效空气过滤器的上风侧,并应有防火安全措施。
送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择,无尘室,中效、高1效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。
净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外,应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。
净化空气调节系统设计应合理利用回风,无尘室施工,凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求,或对其他工序有危害时,则不应用回风。
净化技术的设备发展
对于半导体设备来讲,净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的是集成电路,而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国“九五”期间大力发展以微电子为重点的信息产业。净化工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个国家和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。
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